為滿(mǎn)足半導體制造工藝的要求，集成電路無(wú)塵車(chē)間是一間潔凈室。實(shí)驗室凈化無(wú)菌試驗室-潔凈實(shí)驗室-生物安全實(shí)驗室的建設方案包括：建筑布局和裝修、空氣調節、給排水、氣體供應、電氣設計、集中控制、安防、施工工藝、檢測、培訓等多方面內容。無(wú)塵車(chē)間對環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、靜電放電、AMC控制等有一定的要求。與其他工業(yè)潔凈室相比，集成電路制造無(wú)塵車(chē)間具有面積大、清潔等級高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據潔凈室的空氣循環(huán)特性，潔凈室可分為三種類(lèi)型：帶有高效供氣系統的循環(huán)空調，帶濕密封系統的循環(huán)風(fēng)扇和FFU循環(huán)系統。

第一種形式廣泛用于小規模和低水平要求所需的潔凈室車(chē)間設計。對于大面積和高水平的清潔車(chē)間，存在諸如高運行成本和過(guò)多空間的缺點(diǎn)。

第二形式的設計可以滿(mǎn)足大面積高檔集成電路制造無(wú)塵車(chē)間的要求，但運行成本高，潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調節困難，系統升級困難，操作靈活性非常低。

第三個(gè)FFU循環(huán)系統不僅節省了操作空間，安全性高，運行成本低，操作靈活性高，而且可以隨時(shí)升級和調整，不影響生產(chǎn)。為滿(mǎn)足半導體制造的需要，半導體制造業(yè)中的FFU循環(huán)系統逐漸成為最重要的凈化設計。

FFU循環(huán)系統的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成。FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力。將新鮮空氣和循環(huán)空氣混合后，通過(guò)超高效過(guò)濾器將新鮮空氣和循環(huán)空氣送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。此外，還有一個(gè)集成電路制造設備的生產(chǎn)輔助區，包括電源、氣體和化學(xué)供應、超純水供應等。

集成電路的制造對無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境控制有嚴格的要求。不同的工藝過(guò)程對清潔度的要求也不同，例如，光刻工藝要求在一階段的微環(huán)境中進(jìn)行光刻，而化學(xué)機械拋光只需要1000級的環(huán)境。

此外，集成電路制造清潔車(chē)間對噪聲，振動(dòng)，照明等有特殊的規定和要求，特別是在潔凈室結構設計中必須要求的振動(dòng)控制。

良好的潔凈廠(chǎng)房設計，不僅能節約能源，降低運行成本，減少人力投入，而且為生產(chǎn)提供安全可靠的保障。在三種清潔系統中，FFU循環(huán)系統運行成本最低，清潔度和安全性最高。因此，在集成電路凈化車(chē)間中，多采用FFU循環(huán)系統。潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高，潔凈室的投資和運行成本越高。因此，在環(huán)境清潔度或溫濕度要求相對較低的情況下，在較高的潔凈度或溫濕度控制區域布置一些關(guān)鍵技術(shù)設備是IC制造潔凈車(chē)間的設計趨勢。